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Zuschlag

Ex-ante-Bekanntmachung - Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478

Den Zuschlag für „Ex-ante-Bekanntmachung - Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478“ hat Oxford Instruments GmbH erhalten. Vergeben hat ihn Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik im Verhandlungsverfahren ohne Teilnahmewettbewerb; bekannt gemacht am 06.10.2026. Einen Auftragswert nennt die Bekanntmachung nicht.

Zuschlag anOxford Instruments GmbH
Auftragswertnicht veröffentlicht
VergabestelleFerdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
VerfahrenVerhandlungsverfahren ohne Teilnahmewettbewerb
LeistungsartLieferleistung
Leistung nach CPV31712330 Halbleiter
Zuschlagsentscheidungnicht veröffentlicht
Bekanntmachung des Zuschlags06.10.2026

Einordnung

Weitere Zuschläge an Oxford Instruments GmbH

VeröffentlichtAuftragWert
08.10.2026Vergabeverfahren zur Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage–
06.10.2026Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026-0007 Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzk–
23.09.2026Reaktives Ionenätzen–
15.05.2026Raman- & AFM-System649.000 Euro
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24.04.2026PECVD-Beschichtungsanlage272.242 Euro

Alle öffentlichen Aufträge von Oxford Instruments GmbH

Fragen zu diesem Zuschlag

Wer hat den Auftrag bekommen?

Oxford Instruments GmbH.

Wie hoch war der Auftragswert?

Die Bekanntmachung nennt keinen Auftragswert; das ist bei rund der Hälfte der Zuschläge so.

Lässt sich der Zuschlag noch anfechten?

Vor dem Vertragsschluss: unterlegene Bieter müssen nach § 134 GWB informiert werden, der Vertrag darf erst nach einer Wartefrist geschlossen werden, und in dieser Zeit kann ein Nachprüfungsantrag bei der Vergabekammer gestellt werden. Nach Vertragsschluss ist das nur noch in engen Ausnahmen möglich.

Wo finde ich vergleichbare offene Ausschreibungen?

Unter „Jetzt offen“ weiter unten.

Häufigste Zuschlagsempfänger für diese Leistung

Gleiche CPV-Gruppe (31712…), letzte 18 Monate.

(1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein.

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Quellen

Zitieren: „Zuschlag: Ex-ante-Bekanntmachung - Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxford Plasma Pro 100 Clusteranlage 418478“, Neurobird Ausschreibungen, https://neurobird.com/de/ausschreibungen/zuschlag/ex-ante-bekanntmachung-lieferung-einer-teos-basierten-zusatzkammer-z686058-2026, Stand 01.11.2026.