Zuschlag
Reaktives Ionenätzen
Den Zuschlag für „Reaktives Ionenätzen“ hat Oxford Instruments GmbH erhalten. Vergeben hat ihn Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg im Offenes Verfahren; bekannt gemacht am 23.09.2026. Einen Auftragswert nennt die Bekanntmachung nicht.
| Zuschlag an | Oxford Instruments GmbH |
|---|---|
| Auftragswert | nicht veröffentlicht |
| Vergabestelle | Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg |
| Verfahren | Offenes Verfahren |
| Leistungsart | Lieferleistung |
| Leistung nach CPV | 22520000 Trockenätzausrüstung |
| Zuschlagsentscheidung | 18.09.2026 |
| Bekanntmachung des Zuschlags | 23.09.2026 |
Einordnung
- Oxford Instruments GmbH hat in den letzten 18 Monaten 11 Zuschläge auf TED erhalten.
Weitere Zuschläge an Oxford Instruments GmbH
| Veröffentlicht | Auftrag | Wert |
|---|---|---|
| 08.10.2026 | Vergabeverfahren zur Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage | – |
| 06.10.2026 | Ex-ante-Bekanntmachung - Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxfor | – |
| 06.10.2026 | Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026-0007 Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzk | – |
| 15.05.2026 | Raman- & AFM-System | 649.000 Euro |
| 30.04.2026 | Piezo Force Mikroskop (PFM) | – |
| 24.04.2026 | PECVD-Beschichtungsanlage | 272.242 Euro |
Alle öffentlichen Aufträge von Oxford Instruments GmbH
Kurz beantwortet
Wer hat den Zuschlag erhalten?
Oxford Instruments GmbH.
Wie hoch war der Auftragswert?
Die Bekanntmachung nennt keinen Auftragswert; das ist bei rund der Hälfte der Zuschläge so.
Kann ein unterlegener Bieter den Zuschlag angreifen?
Der Weg führt über die Vergabekammer, und er ist kurz: zwischen der Information der unterlegenen Bieter nach § 134 GWB und dem Vertragsschluss liegt nur eine Wartefrist. Danach bleibt der Zuschlag in aller Regel bestehen.
Wo finde ich vergleichbare offene Ausschreibungen?
Unter „Jetzt offen“ weiter unten.
(1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein.
Quellen
- Zuschlagsbekanntmachung: TED, Amtsblatt der Europäischen Union
- Leistungsbezeichnungen: CPV 2008, Verordnung (EG) Nr. 213/2008
Zitieren: „Zuschlag: Reaktives Ionenätzen“, Neurobird Ausschreibungen, https://neurobird.com/de/ausschreibungen/zuschlag/reaktives-ionenaetzen-z654317-2026, Stand 01.11.2026.