Zuschlag
Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support)
Den Zuschlag für „Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support)“ hat Oxford Instruments GmbH erhalten. Vergeben hat ihn Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik im Offenes Verfahren; bekannt gemacht am 31.03.2026. Einen Auftragswert nennt die Bekanntmachung nicht.
| Zuschlag an | Oxford Instruments GmbH |
|---|---|
| Auftragswert | nicht veröffentlicht |
| Vergabestelle | Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik |
| Verfahren | Offenes Verfahren |
| Leistungsart | Lieferleistung |
| Leistung nach CPV | 22520000 Trockenätzausrüstung |
| Zuschlagsentscheidung | nicht veröffentlicht |
| Bekanntmachung des Zuschlags | 31.03.2026 |
Einordnung
- Oxford Instruments GmbH hat in den letzten 18 Monaten 11 Zuschläge auf TED erhalten.
Weitere Zuschläge an Oxford Instruments GmbH
| Veröffentlicht | Auftrag | Wert |
|---|---|---|
| 08.10.2026 | Vergabeverfahren zur Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage | – |
| 06.10.2026 | Ex-ante-Bekanntmachung - Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzkammer (PP100PECVD) an einer existierenden Oxfor | – |
| 06.10.2026 | Abschluss einer Rahmenvereinbarung mit einem Unternehmen: FBH-2026-0007 Lieferung einer TEOS-basierten Zusatzk | – |
| 23.09.2026 | Reaktives Ionenätzen | – |
| 15.05.2026 | Raman- & AFM-System | 649.000 Euro |
| 30.04.2026 | Piezo Force Mikroskop (PFM) | – |
Alle öffentlichen Aufträge von Oxford Instruments GmbH
Fragen zu diesem Zuschlag
Wer hat den Auftrag bekommen?
Oxford Instruments GmbH.
Wie hoch war der Auftragswert?
Die Bekanntmachung nennt keinen Auftragswert; das ist bei rund der Hälfte der Zuschläge so.
Lässt sich der Zuschlag noch anfechten?
Nur bis der Vertrag geschlossen ist. Die Vergabestelle informiert unterlegene Bieter vorab (§ 134 GWB) und wartet eine Frist ab; in dieser Zeit prüft auf Antrag die Vergabekammer. Ein geschlossener Vertrag lässt sich nur noch in Ausnahmefällen angreifen.
Wo finde ich vergleichbare offene Ausschreibungen?
Unter „Jetzt offen“ weiter unten.
(1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein.
Quellen
- Zuschlagsbekanntmachung: TED, Amtsblatt der Europäischen Union
- Leistungsbezeichnungen: CPV 2008, Verordnung (EG) Nr. 213/2008
Zitieren: „Zuschlag: Lieferung eines ICP-RIE-Trockenätzers mit Fluor-Chemie einschließlich Nebenleistungen (Wartung und Support)“, Neurobird Ausschreibungen, https://neurobird.com/de/ausschreibungen/zuschlag/lieferung-eines-icp-rie-trockenaetzers-mit-fluor-chemie-einschliesslich-z221453-2026, Stand 01.11.2026.