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EU-weite Ausschreibung

Vergabeverfahren zur Lieferung einer Atomlagenabscheidungsanlage (ALD)

Gesucht wird: Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion in Heidelberg, Baden-Württemberg. Die Ausschreibung heißt „Vergabeverfahren zur Lieferung einer Atomlagenabscheidungsanlage (ALD)“. Frist für Angebote: Montag, 30.11.2026, in 27 Tagen. Vergabeart: Offenes Verfahren, EU-weit bekannt gemacht (oberhalb der EU-Schwellenwerte, Verfahren nach GWB und VgV).

Angebotsfrist
30.11.2026, noch 27 Tage
Veröffentlicht
03.11.2026
Vergabeart
Offenes Verfahren
Bekanntmachung
EU-weit (TED)
Leistungsart
Lieferleistung
Auftragswert
nicht veröffentlicht
Quelle, zuletzt geprüft
TED (EU-Amtsblatt), 03.11.2026
Erfüllungsort
Heidelberg, Baden-Württemberg

Vergabestelle und Unterlagen

Vergabestelle nur mit Zugang sichtbar

Zur OriginalbekanntmachungVergabeunterlagen auf der Vergabeplattform

Kurz gesagt

Eine Atomlagenabscheidungsanlage für thermische und plasma-gestützte Prozesse wird für die Universität Heidelberg beschafft.

Zusammenfassung aus dem Text der Bekanntmachung erstellt und automatisch gegen ihn geprüft; maßgeblich ist der Originaltext.

Leistungsbeschreibung

Ausgeschrieben wird die Lieferung und betriebsfertige Übergabe inkl. Funktionstest, Einweisung und Abnahme eines Systems für sowohl thermische als auch plasma-gestützte Atomlagenabscheidung (ALD) von hochpräzisen Dünnfilmen auf dreidimensional vorstrukturierten und planaren Substraten mit kontrollierten Schichtdicken im Nanometer Bereich. Das geplante System soll die Abscheidung supraleitender Filme höchster Güte, insbesondere Niobiumnitrit, dielektrische Dünnfilme sowie magnetische Materialien und High-k-Dielektrika ermöglichen. Dazu soll das Gerät mit präziser in-situ Schichtdicken-überwachung ausgestattet sein um optimale Prozesskontrolle zu ermöglichen. Die angebotene Leistung umfasst folgende Positionen: - Angebot und Lieferung eines Neugerätes bzw. Neuware - Fristgerechte Lieferung "Frei Bordsteinkante inkl. Abladen" - Funktionstest bzw. Demonstration sowie Einweisung und Inbetriebnahme. - Abnahme des Gerätes beim Kunden vor Ort - Schulung vor Ort (3 Tage á 8 Stunden) für 2 Mitarbeiter der Universität Heidelberg. Aufgrund der Vorgaben des Bewilligungsverfahrens für Großgeräte sind die maximal zur Verfügung stehenden Finanzmittel begrenzt und enden bei 1.039.000,- EUR (einschließlich Mehrwertsteuer oder vergleichbar, Zölle und etwaigen Skonti). Angebote, die diesen Grenzwert überschreiten, können nicht berücksichtigt werden. Kalkulatorisch anzugebende Mehrwertsteuer und Zölle sind Bestandteil des Grenzwerts.

Vertrag und Verfahren

Laufzeit60 Wochen
Rahmenvereinbarungnein
Bindefrist46 Tage nach Angebotsfrist
ZuschlagskriterienQualität
Für KMU geeignetnicht ausgewiesen
Sicherheitsleistungnicht verlangt
RechtsgrundlageGWB, VgV (bei Bauleistungen VOB/A EU)
Art des AuftraggebersEinrichtung des öffentlichen Rechts (Land)

Checkliste vor dem Angebot

  1. Leistungsverzeichnis und Vertragsbedingungen aus den Vergabeunterlagen Punkt für Punkt prüfen. Mehr
  2. An das Angebot gebunden bis voraussichtlich 15.01.2027: Kapazität und Preise bis dahin sichern. Mehr
  3. Abgabe bis 30.11.2026, 10:00 Uhr einplanen; die meisten Plattformen nehmen nur elektronische Angebote an. Mehr
  4. Neben dem Preis zählen weitere Kriterien: die Gewichtung in den Unterlagen prüfen. Mehr
  5. Eignung vorläufig mit der Einheitlichen Europäischen Eigenerklärung belegen, die verlangten Nachweise bereithalten. Mehr
  6. Unklarheiten früh als Bieterfrage über die Plattform klären; erkannte Vergabefehler rechtzeitig rügen. Mehr

Zeitplan

VeröffentlichungDienstag, 03.11.2026
AngebotsfristMontag, 30.11.2026, 10:00 Uhr
Bindefrist endet (rechnerisch)Freitag, 15.01.2027

Wie viel gerade offen ist

Bereichoffenneu in 7 TagenFristende in 7 Tagen
Baden-Württemberg, alle Gewerke850219287

Stand 03.11.2026, gezählt nach Abzug der Dubletten. Mehr im Vergabe-Index.

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Einordnung

Das Wichtigste in Fragen

Wie viel Zeit bleibt für das Angebot?

Bis Montag, 30.11.2026, also noch 27 Tage. Die genaue Uhrzeit und den Abgabeweg nennt die Originalbekanntmachung; maßgeblich ist immer sie.

Wo wird der Auftrag ausgeführt?

Erfüllungsort ist Heidelberg in Baden-Württemberg. Für die Bewertung zählt dieser Ort, nicht der Sitz der Vergabestelle.

Wie lange ist man an das Angebot gebunden?

46 Tage nach Ablauf der Angebotsfrist, also voraussichtlich bis 15.01.2027. Bis dahin kann der Zuschlag erteilt werden.

Wie komme ich an die Vergabeunterlagen?

Über die Originalbekanntmachung und die dort verlinkte Vergabeplattform. Die Unterlagen sind dort in der Regel ohne Anmeldung einsehbar; für die Angebotsabgabe verlangen die Plattformen eine Registrierung.

Muss eine Sicherheit gestellt werden?

Laut Bekanntmachung wird keine Sicherheitsleistung verlangt.

Ist der Auftrag für kleine und mittlere Unternehmen geeignet?

Die Bekanntmachung weist ihn nicht ausdrücklich als für KMU geeignet aus; das schließt kleinere Betriebe nicht aus, eine Bietergemeinschaft kann helfen.

Einordnung nach CPV

Rechtsrahmen

(1) Der Zuschlag wird auf das wirtschaftlichste Angebot erteilt. Grundlage dafür ist eine Bewertung des öffentlichen Auftraggebers, ob und inwieweit das Angebot die vorgegebenen Zuschlagskriterien erfüllt. Das wirtschaftlichste Angebot bestimmt sich nach dem besten Preis-Leistungs-Verhältnis. Zu dessen Ermittlung können neben dem Preis oder den Kosten auch qualitative, umweltbezogene oder soziale Aspekte berücksichtigt werden.

Was das für Bieter heißt

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Wissen zum Verfahren

Quellen

Zitieren: „Vergabeverfahren zur Lieferung einer Atomlagenabscheidungsanlage (ALD)“, Ausschreibung, Neurobird Ausschreibungen, https://neurobird.com/de/ausschreibungen/bekanntmachung/vergabeverfahren-zur-lieferung-einer-atomlagenabscheidungsanlage-ald-t761149-2026, Stand 03.11.2026. Alle Angaben ohne Gewähr, maßgeblich ist die Originalbekanntmachung.