EU-weite Ausschreibung
Vergabeverfahren zur Lieferung einer Atomlagenabscheidungsanlage (ALD)
Gesucht wird: Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion in Heidelberg, Baden-Württemberg. Die Ausschreibung heißt „Vergabeverfahren zur Lieferung einer Atomlagenabscheidungsanlage (ALD)“. Frist für Angebote: Montag, 30.11.2026, in 27 Tagen. Vergabeart: Offenes Verfahren, EU-weit bekannt gemacht (oberhalb der EU-Schwellenwerte, Verfahren nach GWB und VgV).
- Angebotsfrist
- 30.11.2026, noch 27 Tage
- Veröffentlicht
- 03.11.2026
- Vergabeart
- Offenes Verfahren
- Bekanntmachung
- EU-weit (TED)
- Leistungsart
- Lieferleistung
- Auftragswert
- nicht veröffentlicht
- Quelle, zuletzt geprüft
- TED (EU-Amtsblatt), 03.11.2026
- Erfüllungsort
- Heidelberg, Baden-Württemberg
Vergabestelle und Unterlagen
Vergabestelle nur mit Zugang sichtbar
Zur OriginalbekanntmachungVergabeunterlagen auf der VergabeplattformKurz gesagt
Eine Atomlagenabscheidungsanlage für thermische und plasma-gestützte Prozesse wird für die Universität Heidelberg beschafft.
- Lieferung eines Neugeräts mit Funktionstest, Einweisung und Abnahme vor Ort
- Das System ermöglicht die Abscheidung supraleitender, dielektrischer und magnetischer Dünnfilme im Nanometerbereich
- Es muss eine präzise in-situ Schichtdickenüberwachung für Prozesskontrolle haben
- Die Leistung umfasst eine Schulung vor Ort von drei Tagen für zwei Mitarbeiter
- Das maximale Budget inklusive aller Kosten beträgt 1.039.000 Euro
Zusammenfassung aus dem Text der Bekanntmachung erstellt und automatisch gegen ihn geprüft; maßgeblich ist der Originaltext.
Leistungsbeschreibung
Ausgeschrieben wird die Lieferung und betriebsfertige Übergabe inkl. Funktionstest, Einweisung und Abnahme eines Systems für sowohl thermische als auch plasma-gestützte Atomlagenabscheidung (ALD) von hochpräzisen Dünnfilmen auf dreidimensional vorstrukturierten und planaren Substraten mit kontrollierten Schichtdicken im Nanometer Bereich. Das geplante System soll die Abscheidung supraleitender Filme höchster Güte, insbesondere Niobiumnitrit, dielektrische Dünnfilme sowie magnetische Materialien und High-k-Dielektrika ermöglichen. Dazu soll das Gerät mit präziser in-situ Schichtdicken-überwachung ausgestattet sein um optimale Prozesskontrolle zu ermöglichen. Die angebotene Leistung umfasst folgende Positionen: - Angebot und Lieferung eines Neugerätes bzw. Neuware - Fristgerechte Lieferung "Frei Bordsteinkante inkl. Abladen" - Funktionstest bzw. Demonstration sowie Einweisung und Inbetriebnahme. - Abnahme des Gerätes beim Kunden vor Ort - Schulung vor Ort (3 Tage á 8 Stunden) für 2 Mitarbeiter der Universität Heidelberg. Aufgrund der Vorgaben des Bewilligungsverfahrens für Großgeräte sind die maximal zur Verfügung stehenden Finanzmittel begrenzt und enden bei 1.039.000,- EUR (einschließlich Mehrwertsteuer oder vergleichbar, Zölle und etwaigen Skonti). Angebote, die diesen Grenzwert überschreiten, können nicht berücksichtigt werden. Kalkulatorisch anzugebende Mehrwertsteuer und Zölle sind Bestandteil des Grenzwerts.
Vertrag und Verfahren
| Laufzeit | 60 Wochen |
|---|---|
| Rahmenvereinbarung | nein |
| Bindefrist | 46 Tage nach Angebotsfrist |
| Zuschlagskriterien | Qualität |
| Für KMU geeignet | nicht ausgewiesen |
| Sicherheitsleistung | nicht verlangt |
| Rechtsgrundlage | GWB, VgV (bei Bauleistungen VOB/A EU) |
| Art des Auftraggebers | Einrichtung des öffentlichen Rechts (Land) |
Checkliste vor dem Angebot
- Leistungsverzeichnis und Vertragsbedingungen aus den Vergabeunterlagen Punkt für Punkt prüfen. Mehr
- An das Angebot gebunden bis voraussichtlich 15.01.2027: Kapazität und Preise bis dahin sichern. Mehr
- Abgabe bis 30.11.2026, 10:00 Uhr einplanen; die meisten Plattformen nehmen nur elektronische Angebote an. Mehr
- Neben dem Preis zählen weitere Kriterien: die Gewichtung in den Unterlagen prüfen. Mehr
- Eignung vorläufig mit der Einheitlichen Europäischen Eigenerklärung belegen, die verlangten Nachweise bereithalten. Mehr
- Unklarheiten früh als Bieterfrage über die Plattform klären; erkannte Vergabefehler rechtzeitig rügen. Mehr
Zeitplan
| Veröffentlichung | Dienstag, 03.11.2026 |
|---|---|
| Angebotsfrist | Montag, 30.11.2026, 10:00 Uhr |
| Bindefrist endet (rechnerisch) | Freitag, 15.01.2027 |
Wie viel gerade offen ist
| Bereich | offen | neu in 7 Tagen | Fristende in 7 Tagen |
|---|---|---|---|
| Baden-Württemberg, alle Gewerke | 850 | 219 | 287 |
Stand 03.11.2026, gezählt nach Abzug der Dubletten. Mehr im Vergabe-Index.
Wer zuletzt vergleichbare Aufträge gewonnen hat
| Veröffentlicht | Auftrag | Zuschlag an | Wert |
|---|---|---|---|
| 14.10.2026 | Lieferung eines 2-Tor-VNA (Vektorieller Netzwerkanalysator) bis 67 GHz gemäß Leistungsbeschreibung | Keysight Technologies Deutschland GmbH | – |
| 14.10.2026 | Lieferung eines Systems für chemisch-mechanisches Polieren (CMP) gemäß Leistungsbeschreibung | S3 Alliance GmbH | – |
| 06.08.2026 | Lieferung eines 3-Kammer Molekularstrahlepitaxie (MBE)-Systems gemäß Leistungsbeschreibung | Dr. Eberl MBE-Komponenten GmbH | – |
| 02.07.2026 | Modernisierung 1-2026 | Wahl Büro+Objekt GmbH | 103.753 Euro |
| 07.10.2025 | Beschaffung einer hybriden Plasmaätz- und Beschichtungsanlage | SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH | 690.940 Euro |
Zuschlagsbekanntmachungen auf TED, gleiche CPV-Gruppe (31640…). Alle Zuschläge
Einordnung
- Ein Auftragswert ist nicht veröffentlicht, wie bei rund 96 Prozent der offenen Bekanntmachungen.
- Mit Erfüllungsort Heidelberg sind derzeit 21 Ausschreibungen offen.
- Die Frist fällt in Kalenderwoche 49.
- Derselben CPV-Gruppe wie diese (Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion) gehören bundesweit 3 offene Verfahren an.
Das Wichtigste in Fragen
Wie viel Zeit bleibt für das Angebot?
Bis Montag, 30.11.2026, also noch 27 Tage. Die genaue Uhrzeit und den Abgabeweg nennt die Originalbekanntmachung; maßgeblich ist immer sie.
Wo wird der Auftrag ausgeführt?
Erfüllungsort ist Heidelberg in Baden-Württemberg. Für die Bewertung zählt dieser Ort, nicht der Sitz der Vergabestelle.
Wie lange ist man an das Angebot gebunden?
46 Tage nach Ablauf der Angebotsfrist, also voraussichtlich bis 15.01.2027. Bis dahin kann der Zuschlag erteilt werden.
Wie komme ich an die Vergabeunterlagen?
Über die Originalbekanntmachung und die dort verlinkte Vergabeplattform. Die Unterlagen sind dort in der Regel ohne Anmeldung einsehbar; für die Angebotsabgabe verlangen die Plattformen eine Registrierung.
Muss eine Sicherheit gestellt werden?
Laut Bekanntmachung wird keine Sicherheitsleistung verlangt.
Ist der Auftrag für kleine und mittlere Unternehmen geeignet?
Die Bekanntmachung weist ihn nicht ausdrücklich als für KMU geeignet aus; das schließt kleinere Betriebe nicht aus, eine Bietergemeinschaft kann helfen.
Einordnung nach CPV
- 31640000 Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion
- 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Rechtsrahmen
(1) Der Zuschlag wird auf das wirtschaftlichste Angebot erteilt. Grundlage dafür ist eine Bewertung des öffentlichen Auftraggebers, ob und inwieweit das Angebot die vorgegebenen Zuschlagskriterien erfüllt. Das wirtschaftlichste Angebot bestimmt sich nach dem besten Preis-Leistungs-Verhältnis. Zu dessen Ermittlung können neben dem Preis oder den Kosten auch qualitative, umweltbezogene oder soziale Aspekte berücksichtigt werden.
Weitere offene Ausschreibungen in Baden-Württemberg
- Pforzheim, Polizeipräsidium PF, Neuunterbringung Neubau FLZ Wärme- und Kälteerzeugung nach DIN 18380
Vermögen und Bau Baden-Württemberg, Amt Pforzheim
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- 027.0 Tischlerarbeiten
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- GDSK BW Neubau GBG Tiefbau- und Straßenbauarbeiten, DIN 18299 u.a.
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- Sicherheitsdienste Altes Rathaus und Zulassungsstelle
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EU-weit · Baden-Württemberg · Offenes VerfahrenFrist 2026-12-03, noch 30 Tage
Wissen zum Verfahren
- EU-Schwellenwerte
- Vergabeunterlagen lesen
- Eignung nachweisen
- Angebotsfristen
- An einer Ausschreibung teilnehmen
Quellen
- Bekanntmachung: TED, Amtsblatt der Europäischen Union, abgerufen am 03.11.2026
- Leistungsbezeichnungen: CPV 2008, Verordnung (EG) Nr. 213/2008, deutsche Fassung
- GWB § 127: gesetze-im-internet.de
- Marktzahlen: Vergabe-Index, eigene Auswertung aller offenen Bekanntmachungen
Zitieren: „Vergabeverfahren zur Lieferung einer Atomlagenabscheidungsanlage (ALD)“, Ausschreibung, Neurobird Ausschreibungen, https://neurobird.com/de/ausschreibungen/bekanntmachung/vergabeverfahren-zur-lieferung-einer-atomlagenabscheidungsanlage-ald-t761149-2026, Stand 03.11.2026. Alle Angaben ohne Gewähr, maßgeblich ist die Originalbekanntmachung.